|
ЕВРАЗИЙСКИЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ (ЕАСС) EURO-ASIAN GOUNCIL FOR STANDARDIZATION, METROLOGY AND CERTIFICATION (EASC) |
||
|
|
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ |
ГОСТ
ИСО |
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ
С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
Часть 1
Классификация чистоты воздуха
ISO 14644-1-99
Cleanrooms and associated controlled environments -
Part 1: Classification of air cleanliness (IDT)
Москва
ИПК Издательство стандартов
2003
Предисловие
Евразийский совет по стандартизации, метрологии и сертификации (ЕАСС) представляет собой региональное объединение национальных органов по стандартизации государств, входящих в Содружество Независимых Государств. В дальнейшем возможно вступление в ЕАСС национальных органов по стандартизации других государств.
Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены ГОСТ 1.0-92 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положения», ГОСТ 1.2-97 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила, рекомендации по межгосударственной стандартизации. Порядок разработки, принятия, применения, обновления и отмены»
Сведения о стандарте
1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией «Ассоциацией инженеров по контролю микрозагрязнений» (АСИНКОМ) и Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 «Обеспечение промышленной чистоты»
2 ВНЕСЕН Госстандартом России
3 ПРИНЯТ Евразийским советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол № 21 от 30 мая 2002 г.)
За принятие проголосовали:
|
Краткое наименование страны по МК (ИСО 3166) 004-97 |
Код страны по МК (ИСО 3166) 004-97 |
Сокращенное наименование национального органа по стандартизации |
|
Азербайджан |
AZ |
Азгосстандарт |
|
Армения |
AM |
Армгосстандарт |
|
Беларусь |
BY |
Госстандарт Республики Беларусь |
|
Казахстан |
KZ |
Госстандарт Республики Казахстан |
|
Киргизия |
KG |
Кыргызстандарт |
|
Молдова |
MD |
Молдовастандарт |
|
Российская Федерация |
RU |
Госстандарт России |
|
Таджикистан |
TJ |
Таджикстандарт |
|
Туркменистан |
TM |
Главгосслужба «Туркменстандартлары» |
|
Узбекистан |
UZ |
Узгосстандарт |
|
Украина |
UA |
Госстандарт Украины |
4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-1-99 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1: Классификация чистоты воздуха» (Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness)
Постановлением Государственного комитета Российской Федерации по стандартизации и метрологии от 10 июня 2003 г. № 190-ст межгосударственный стандарт ГОСТ ИСО 14644-1-2002 введен в действие с 1 апреля 2004 г.
5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта и изменений к нему на территории указанных выше государств публикуется в указателях национальных (государственных) стандартов, издаваемых в этих государствах.
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе (каталоге) «Межгосударственные стандарты», а текст изменений - в информационных указателях «Межгосударственные стандарты». В случае пересмотра или отмены настоящего стандарта соответствующая информация будет опубликована в информационном указателе «Межгосударственные стандарты»
СОДЕРЖАНИЕ
|
GMP. Примечание - Более полная информация относительно последовательного отбора проб изложена в [3]. F.1.2 Ограничения Главные ограничения метода последовательного отбора проб: a) метод применяется только в тех случаях, когда для отбора пробы с количеством 20 частиц заданных размеров частиц и класса чистоты требуется длительное время; b) обработка данных требует применения дополнительных методов контроля и анализа, в т.ч. автоматизированных; c) поскольку проба имеет меньший объем, то точность определения концентрации частиц по этому методу ниже, чем при использовании обычного метода отбора проб по приложению В. F.2 Основа метода Метод основан на сравнении наблюдаемого числа частиц С (кумулятивных значений) в реальном времени относительно опорных значений счета, полученных расчетом перед началом отбора проб. Верхний СВ и нижний СН пределы опорных значений берутся из уравнений: верхний предел: СВ = 3,96 + 1,03 Е, причем СВ£ 20, (F.1) нижний предел: СН = - 3,96 + 1,03 Е, (F.2) где Е - ожидаемое число частиц в пробе при максимально допустимой концентрации их для заданных размеров частиц и класса чистоты. Для сравнения наблюдаемого числа частиц C и ожидаемого числа частиц E могут использоваться графический (рисунок F.1) или табличный методы (таблица F.1).
Рисунок F.1 - Границы соответствия и несоответствия классам чистоты при использовании метода последовательного отбора проб На рисунке F.1 по оси абсцисс отложены значения ожидаемого числа частиц Е, если концентрация частиц равна максимально допустимому значению для заданных размеров частиц и класса чистоты (В.4.2). По оси ординат отложены значения наблюдаемого числа частиц С в пробе. При отборе проб воздуха в каждой точке наблюдаемое число частиц С непрерывно сравнивается с пределами опорных значений счета (СВ и СН), которые зависят от объема пробы и показаны линиями на рисунке F.1. Если наблюдаемое число частиц С меньше нижнего предела опорных значений СН (находятся ниже линии СН) для соответствующего объема пробы, то чистота воздуха соответствует заданному классу и отбор проб прекращается. Если наблюдаемое число частиц С превышает верхний предел опорных значений СВ (находятся выше линии СВ) для соответствующего объема пробы, то чистота воздуха не соответствует заданному классу и отбор проб прекращается. Если наблюдаемое число частиц С остается между верхним СВ и нижним СН пределами опорных значений счета, то отбор пробы продолжается до тех пор, пока не будет отобрана проба в соответствии с В.4.2, т.е. объем пробы будет соответствовать ожидаемому счету Е, равному 20 частицам. В таблице F.1 представлен эквивалентный метод, в котором фактическое время, затрачиваемое на отбор пробы, сравнивается с долями времени t. Величина t = 1,0000 означает время, необходимое для счета 20 частиц, при чистоте воздуха, соответствующей максимально допустимому значению концентрации частиц заданных размеров для данного класса. Таблица F.1 - Верхние и нижние пределы условных долей времени для подтверждения соответствия классу чистоты |
Соответствие классу чистоты, если время отбора пробы больше доли времени t для соответствующего значения С |
|
Доля времени t
Наблюдаемое число частиц С
Доля времени t
Наблюдаемое число частиц С
1
2
3
4
0,0019
4
0,1922
0
0,0505
5
0,2407
1
0,0992
6
0,2893
2
0,1476
7
0,3378
3
0,1961
8
0,3864
4
0,2447
9
0,4349
5
0,2932
10
0,4834
6
0,3417
11
0,5320
7
0,3902
12
0,5805
8
0,4388
13
0,6291
9
0,4873
14
0,6676
10
0,5359
15
0,7262
11
0,5844
16
0,7747
12
0,6330
17
0,8233
13
0,6815
18
0,8718
14
0,7300
19
0,9203
15
0,7786
20
0,9689
16
1,0000
21
1,0000
17
Примечание - Доли времени t исчисляются от t = 1,0000, при котором в пробе ожидается 20 частиц.
Фактическое время отбора пробы воздуха с наблюдаемым числом единиц С сравнивается с долями времени t, приведенными в таблице F.1. Если фактическое время отбора пробы окажется меньшим или равным значениям, указанным в столбце 1, то счет прекращается ввиду несоответствия заданному классу чистоты. Если фактическое время отбора пробы больше значений, указанных в столбце 3, то чистое помещение соответствует заданному классу и счет прекращается.
Если фактическое время отбора пробы воздуха остается в интервале между значениями долей времени t в столбцах 1 и 3, то счет продолжается до тех пор, пока объем пробы будет содержать ожидаемое число частиц E = 20, т.е. будет отобрана проба в соответствии с В.4.2. В крайнем случае, потребуется 21 раз сравнивать фактическое время отбора пробы со значениями долей времени t, приведенными в таблице F.1.
F.3 Порядок работы
F.3.1 Рекомендации по отбору проб
Для оценки результатов, полученных при последовательном отборе проб, может использоваться один из двух методов, представленных в F.2. При этом рекомендуется выполнять непрерывный компьютерный анализ данных.
F.3.2 Графический метод сравнения
На рисунке F.1 линиями показаны верхний и нижний пределы опорных значений счета, ограниченные по оси абсцисс ожидаемым числом частиц Е = 20, которое соответствует времени (объему) отбора пробы, при котором ожидается 20 частиц заданных размеров для данного класса чистоты.
Наблюдаемое при отборе пробы число частиц С откладывается напротив ожидаемого числа частиц E для такого же объема пробы при максимально допустимой концентрации частиц заданных размеров для данного класса. С течением времени ожидаемое число частиц E увеличивается до E = 20.
При последовательном отборе проб с использованием рисунка F.1 наблюдаемое число частиц С регистрируется и полученные данные сравниваются с верхним СВ и нижним СН пределами опорных значений, нанесенных на рисунке F.1 линиями.
Если наблюдаемое число частиц С попадает в область выше верхней линии, то отбор пробы в данной точке прекращают из-за несоответствия чистоты воздуха заданному классу.
Если наблюдаемое число частиц С попадает в область ниже нижней линии, то отбор пробы в данной точке прекращают из-за соответствия чистоты воздуха заданному классу.
Если наблюдаемое число частиц С попадает в область между верхней и нижней линиями, то отбор пробы следует продолжить.
Если наблюдаемое число частиц С равно или меньше 20 при E = 20, т.е. не пересекает верхней линии, то чистота воздуха помещения соответствует заданному классу чистоты.
F.3.3 Табличный метод сравнения
В таблице F.1 представлен метод оценки результатов, эквивалентный графическому методу и основанный на уравнениях F.1-F.2 Время t, равное 1,0000, необходимо для отбора пробы, содержащей 20 частиц заданных размеров для данного класса при максимально допустимой концентрации частиц. В столбцах 1 и 3 приведены доли времени от этого значения.
Для последовательного отбора проб с использованием таблицы F.1 рассчитывается время, необходимое для отбора 20 частиц при максимальной концентрации частиц заданных размеров для данного класса. Это время условно принимается за единицу (t = 1,0000) и по таблице F.1 относительно него определяются доли времени t. При отборе пробы регистрируется число частиц в зависимости от времени. Фактическое время отбора пробы воздуха с определенным числом частиц сравнивается со значениями времени, представленными в столбцах 1 и 3.
Если время отбора пробы с данным числом частиц меньше или равно представленному в столбце 1, то отбор пробы прекращают из-за несоответствия чистоты воздуха заданному классу.
Если время отбора пробы с данным числом частиц больше представленного в столбце 3, то отбор пробы прекращают ввиду соответствия чистоты воздуха заданному классу.
Если время отбора пробы находится между значениями, указанными в столбцах 1 и 3, то отбор пробы продолжают. Если отбор пробы продолжается до 21-го значения доли времени (в столбце 1) и ни одно значение наблюдаемого числа частиц (из столбца 2) не появилось раньше соответствующей доли времени (из столбца 1), то чистота воздуха соответствует заданному классу.
[1] IEST-G-CC1002 Determination of the Concentration of Airborne Ultrafine Particls
(Определение концентрации взвешенных в воздухе ультрамелких частиц)
Mount Prospect, Illinois: Institute of Environmental Science and Technology (1999)
[2] IEST-G-CC1003 Measurement of Airborne Macroparticl
(Измерение взвешенных в воздухе макрочастиц)
Mount Prospect, Illinois: Institute of Environmental Science and Technology (1999)
(Схема последовательного отбора проб для использования при классификации чистоты воздуха по частицам в чистых помещениях и чистых зонах).
Mount Prospect, Illinois: Institute of Environmental Science and Technology (1999)
Ключевые слова: чистые помещения, контролируемые среды, классификация чистоты воздуха, класс чистоты
